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常用的拋光粉來自混合稀土，輔以氟化物、石英、鈣、鋇、鐵和少量其他雜質(zhì)。20世紀(jì)60年代至70年代，拋光粉的制備工藝和生產(chǎn)方法取得了相對集中的研究成果。常用的制備工藝是使稀土富集物在固態(tài)下發(fā)生化學(xué)變化，從而轉(zhuǎn)化為機械化學(xué)性能穩(wěn)定的化合物。稀土氧化物含量為40~70%（含30~65%的氧化物），粒度為1~4微米。該拋光粉價格相對便宜，切割率高，應(yīng)用很廣 。主要用于陰極射線管、平板玻璃和鏡片的拋光。第二類氧化物基拋光粉采用化學(xué)沉淀法生產(chǎn)。
稀土沉淀煅燒成穩(wěn)定的氧化物，磨成細粉。通常含有70~100%的稀土氧化物（含40~100%的氧化物）。該產(chǎn)品的優(yōu)點是成分均勻，顆粒尺寸和形狀一致性好，但主要用于光學(xué)玻璃。特殊玻璃的拋光采用高水平拋光粉（99%以上的氧化物）。其顆粒形狀和硬度均勻，純度高，表面均勻，無缺陷，無雜質(zhì)污染。常用于精密光學(xué)儀器、激光晶體和半導(dǎo)體元件的拋光。稀土拋光粉的要求不同于類似的稀土產(chǎn)品。就拋光粉而言，雖然對化學(xué)純度也有要求，但它不是決定性因素，而是決定性因素。
因此，稀土拋光粉的制備必須在一定化學(xué)含量的基礎(chǔ)上賦予其應(yīng)有的物理特性，如粒徑、均勻性、晶體性質(zhì)、硬度、比例等。這些特性必須在制備過程中（包括沉淀和煅燒）進行調(diào)整。
首先，產(chǎn)生拋光粉的母體化合物（即各種稀土鹽化合物）及其沉淀加工工藝。因為它們決定了產(chǎn)品的粒度特性和晶體特性，如氫氧化、碳酸和草酸，它們的煅燒產(chǎn)品在粒度和拋光性能上有很大的差異。
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